1樓:位燁磊
等離子體是物質存在的第四態,比氣態能量更高,等離子體是良導體,受磁場影響。 微波是等離子體產生的方法之一,微波等離子體無電極、大體積、執行氣壓寬、低能耗、高效率和低成本等優點,其等離子體發生室和處理室可分合,工藝靈活。
2樓:優普萊等離子體
一、概述
目前低溫等離子體(溫度為2000~50000k)已得到廣泛應用,工業上已成為一種重要的工藝手段,例如用等離子弧進行切割、焊接、噴塗;製造各種新穎的光源和顯示器;熱電直接轉換的磁流體發電等。在化工部門,等離子體化學已成為乙個十分活躍的新領域。在微電子工業,等離子體刻蝕和氣相沉積應用得十分廣泛。
以上情況表明,低溫等離子體已逐漸滲透到很多領域,展示了廣闊的前景。
二、用微波激發等離子體有如下優點
1.有較高的電離和分解程度
2.電子溫度和離子溫度對中性氣體溫度之比非常高,運載氣體保持合適的溫度。這個特性,在氣相沉積的情況下,可使基底的溫度不會過高。
3.能在高氣壓下維持等離子體。
4.沒有內部電極,在等離子容器內,沒有工作氣體以外的任何物質,是潔淨的,無汙染源。等離子發生器可以保持長壽命。
5.等離子可以採用磁約束的方法,約束在約定的空間內,微波結和磁路可以相容。
6.安全因素高。高壓源和等離子體發生器互相隔離,這是直流等離子體不能達到的。微波洩漏小,容易達到輻射安全標準。這是高頻感應等離子體難以達到的。
7.微波發生器是穩定的,易控的。
8.微波等離子體,在許多情況下是一種比較寧靜的等離子體,不象直流放電那樣伴隨很高的雜訊級。
三、微波激發等離子體的多種形式
1.微波傳輸線和諧振腔。
2.慢波結構邊緣場。
3.近場微波天線。
4.同軸基表面波激發等離子體柱和波導基表面波激發等離子體柱。
5.利用電子迴旋共振激發等離子體。
資料來自:www.uniplasma.com
等離子體和微波等離子體兩者有什麼區別? 255
3樓:匿名使用者
微波誘導微放電源是基於「微波帶」技術在大氣壓環境下產生的一種微等離子體,
它被廣泛應用於氣相色譜中原子發射光譜激發源.
微波帶技術的使用不僅可以將微波精確指向間隙區,同時也減少了不必要的外空間輻射損失,有利於耦合效率的提高,從而獲得高密度等離子體.
4樓:翰墨儒雅
離子體產生的方法之一,微波等離子體無電極、大體積、執行氣壓寬、低能耗、高效率和低成本等優點,其等離子體發生室和處理室可分合,工藝靈活。微波等離子體具有其他等離子體難以比擬的優勢和特點。
5樓:匿名使用者
等離子包括微波等離子,後者只是等離子中的一種。
6樓:小老虎
等離子體是物質存在的第四態,比氣態能量更高,等離子體是良導體,受磁場影響。
微波是等離子體產生的方法之一,微波等離子體無電極、大體積、執行氣壓寬、低能耗、高效率和低成本等優點,其等離子體發生室和處理室可分合,工藝靈活。微波等離子體具有其他等離子體難以比擬的優勢和特點。
等離子體比其他工藝有更高的溫度和能量密度,能夠產生活性成分,引發常規條件下不能或難以實現的物理和化學反應。
等離子體工藝優點:
乾式潔淨工藝
滿足無塵室等苛刻條件
使用方便靈活,工藝簡單
對各種形狀的零件有明顯處理效果
工藝條件完全可控
成本低,效果好,時間短
-------------優普萊等離子體專業從事等離子體研發。
7樓:沃特塞恩微波源
微波等離子體是等離子體產生的方法之一,微波等離子體具有其他等離子體難以比擬的優勢和特點。
--沃特塞恩微波源-微波等離子體激勵源
8樓:威風威風天枰
常壓氮氣微波等離子射流
處理面20mm直徑
上兩圖就是氮氣常壓微波等離子炬,低溫可到45度,漿狀射流。直流交流和射頻等離子做不到這個溫度長度和等離子體濃度的。
什麼是等離子體,等離子體是什麼???
駒令於薇歌 等離子體 plasma 又叫做電漿,是由部分電子被剝奪後的原子及原子團被電離後產生的正負離子組成的離子化氣體狀物質,尺度大於德拜長度的巨集觀電中性電離氣體,其運動主要受電磁力支配,並表現出顯著的集體行為。等離子體是不同於固體 液體和氣體的物質第四態。物質由分子構成,分子由原子構成,原子由...
等離子體是什麼,什麼叫等離子體
等離子體 是由部分電子被剝奪後的原子及原子被電離後產生的正負電子組成的離子化氣體狀物質,它是除去固 液 氣外,物質存在的第四態。等離子體是一種很好的導電體,利用經過巧妙設計的磁場可以捕捉 移動和加速等離子體。等離子體物理的發展為材料 能源 資訊 環境空間科學的進一步發展提新的技術和工藝。看似 神秘 ...
什麼是等離子體,什麼叫等離子體
等離子體又被稱為電漿 是被電離後產生的正負離子組合的離子化氣體狀物質 那如何直觀的理解等離子體呢 等離子體就是被激發電離氣體,達到一定的電離度 10 4 氣體處於導電狀態,這種狀態的電離氣體就表現出集體行為,即電離氣體中每一帶電粒子的運動都會影響到其周圍帶電粒子,同時也受到其他帶電粒子的約束.由於電...
等離子體有哪些,常見的等離子體有哪些?
等離子體是一種物質狀態,目前實驗室產生等離子體無非就是依靠氣體放電。因此,工業應用,日常家用等離子體都是電離氣體產生的,比如輝光放電,電弧放電,射頻放電。實驗室等離子體可以在低氣壓下和大氣壓下產生,用途也不一樣,可作為光源,離子源,電子束源,以及半導體刻蝕,鍍膜,沉積,清洗等用途的等離子體源。自然界...
低溫等離子體得特點?低溫等離子體有什麼作用?
低溫等離子體屬非平衡等離子體,其中電子溫度遠高於重粒子溫度,廣泛應用於積體電路 表面處理 光源等許多領域。不懂啊,俺才高中啊,不要求助俺啦 低溫等離子體有什麼作用?低溫等離子體主要特點 任何溼洗法清洗,表面都會有殘留,只有低溫等離子體表面處理才能做到徹底的淨化,得到超高潔淨度的表面,且低溫等離子體只...